自支撑金属超薄膜厚度的测量技术

摘要：

介绍了白光光谱共焦进行表面光学定位的原理和同轴共轭对称的自支撑金属薄膜厚度测量系统,通过对标准台阶高度和标准量块厚度的测量试验,以及测量结果不确定度的分析,验证该薄膜厚度测量系统的准确性和可靠性,在300μm的厚度范围内系统相对测量不确定度达到0.99％,满足薄膜厚度高精度测量和量值溯源的技术要求。

关键词： 自支撑金属薄膜 厚度测量 光谱共焦 量值溯源 测量不确定度

作者: 朱小平 杜华 王蔚晨

作者单位: 中国计量科学研究院,北京100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 17-20

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）