步距规校准新方法的探讨

摘要：

提出了3种步距规校准的新方法。应用光切显微镜及白光干涉的测量原理实现步距规工作面的精确定位,结合中国计量科学研究院新研制的2m比长仪的机械性能和高精度的测长系统实现步距规的校准。给出了初步实验结果,并进行了方案探讨。采用光斑定位的方法步距规移动分辨率可达到0.02 mm,被测表面定位重复性优于0.05μm。

关键词： 步距规 校准方法 光斑定位 性能评价

作者: 王蔚晨 丁晨 孙双花 高宏堂 叶孝佑

作者单位: 中国计量科学研究院长度所,北京100013 安徽省计量科学研究院,安徽合肥230051

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 21-23

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）