激光干涉仪长度校准标准空气温度修正方法

摘要：

通过对激光干涉仪长度校准标准主要不确定度来源的分析,得出其主要的来源是校准装置空气温度的影响。基于试验数据,分析了装置非线性分布空气温度产生的原因及平均温度修正方法对于涉仪长度校准的影响;提出了按权重分区间进行空气温度修正的方法,可控制空气温度测量对干涉仪长度校准的影响至2×10-8量级,提高激光干涉仪长度校准标准的精度。

关键词： 激光干涉仪 长度校准标准 空气温度修正 测量不确定度

作者: 黄晓荣 李建双 蒋聪

作者单位: 中国测试技术研究院,成都610021 中国计量科学研究院,北京100013 重庆市计量质量检测研究院,重庆401123

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 28-31

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）