无限变焦3D形貌仪在几何量微纳米检测中的应用

摘要：

介绍了新型的几何量光学微纳米测量仪器——无限变焦3D形貌仪。简述了该仪器的测量原理,系统分析了其功能与技术特点。结合实际检测需求,介绍了其在几何量微纳米检测中的应用,主要包括长度尺寸、形状、角度、粗糙度等参数的测量。通过对相应实物标准器的测量实验与数据结果分析,给出了该仪器在上述测量应用中各自的精度与误差特性。最后,对可能影响测量结果的因素进行了分析,并给出使用该类光学形貌测量仪进行测量时的建议。

关键词： 无限变焦3D形貌仪 几何量光学 微纳米检测 变焦技术 测量精度

作者: 郭继平 于冀平 彭翔 方南家 王强兵 陈照聚

作者单位: 深圳市计量质量检测研究院,广东深圳,518055;深圳大学光电工程学院,教育部光电子器件与系统重点实验室,广东深圳,518060 深圳市计量质量检测研究院,广东深圳,518055 深圳大学光电工程学院,教育部光电子器件与系统重点实验室,广东深圳,518060

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 36-40

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）