一种基于光束偏转法的新型原子力显微镜测头设计
论述一种基于光束偏转法新型原子力显微镜测头的设计,在结构上它采用殷钢整体套筒将光学元件和光电接收装置封装在内部,减少了环境对光路和测头的影响;在光路设计上,通过孔径光阑的激光出射光路与测头悬臂反射的激光光路重合,且偏振态由(s)偏振方向变为(p)偏振方向,最后出射激光经过透镜焦点形成的光锥被四象限器探测,整个光路结构紧凑,且光学元件位置相对固定,简化了对光源信号及光斑的调节;在探针固定采用了夹具夹持的形式,便于探针灵活更换。
原子力显微镜 测头设计 光束偏转法 性能评价
徐雪芳 高思田 卢明臻 李伟 施玉书
合肥工业大学,安徽 合肥 230009;中国计量科学研究院,北京 100013 中国计量科学研究院,北京 100013
国内会议
北京
中文
59-62
2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）