基于误差分离的气浮式垂直度测量仪检测方法

摘要：

气浮式垂直度测量仪具有较大的测量行程和较高的测量精度,传统的检具与检测方法无法满足其检测要求,针对该仪器设计了新的专用检具,并提出了基于误差分离技术的检测方法应用于实际检测中,检测结果显示垂直度误差为0.8μm。

关键词： 垂直度测量仪 仪器检具 误差分离 性能评价

作者: 贾敏强 赵东升 孙会庆 刘大忠 高冉

作者单位: 山东省计量检测重点实验室,山东 济南 250014;山东省计量科学研究院,山东 济南 250014

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 66-68

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）