滚轮式湿膜厚度规校准方法研究

摘要：

介绍了2种校准滚轮式湿膜厚度规的方法,在同样的实验条件下,分别采用2种方法对同一滚轮式湿膜厚度规样品进行多次反复实验测量。从实验测量的复杂性、仪器的精度、所耗时间长短以及重复性等方面进行对比,结果表明由上海市计量测试技术研究院机械所自主研发的标准装置测量精度达到了1μm,测量耗时3～5min。

关键词： 湿膜厚度规 校准方法 功能分析 性能评价

作者: 张小嫚 马建敏 孙佳媛

作者单位: 上海市计量测试技术研究院,上海 201203

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 91-93

在线出版日期: 2012-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）