热处理工艺过程对CSBT/LNO薄膜性能的影响

摘要：

探讨了匀胶速度、热分解温度及退火温度对CSBT/LNO薄膜取向和性能的影响.结果表明:制备(200)衍射峰择优的CSBT/LNO薄膜的最佳热处理工艺条件为:匀胶速度4000 r/min,热分解温度400℃,退火温度为725℃;薄膜样品呈现a轴择优取向,I(200)/I(119)=1.26;样品铁电性能优良,剩余极化强度2Pr=36.7μC/cm2,对应的矫顽电场2Ec=156 kV/cm;相对介电常数εr=215,具有较好的频率稳定性.

关键词： 钙钛矿铁电薄膜 制备工艺 热处理温度 性能表征

作者: 范素华 张丰庆 于冉 王营营

作者单位: 山东女子学院,山东 济南 250300 山东建筑大学,山东 济南 250101

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国高技术陶瓷学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 10-12

在线出版日期: 2012-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）