钇掺杂浓度梯度对BST薄膜介电特性的影响
用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)法制备光滑致密的相邻两层钇(Y)掺杂浓度之差即掺杂浓度梯度分别为0、0.1％和0.3％摩尔比的6层钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3)薄膜,分别表示为0YBST、1YBST和3YBST,研究掺杂浓度梯度对薄膜介电特性的影响.X射线衍射(XRD)表明,薄膜为沿(110)晶面生长的立方钙钛矿多晶结构,其中,0YBST显示最强的晶化,1YBST显示最弱的晶化.0YBST具有最差的介电特性,而3YBST具有最佳的介电特性,介电损耗小于1％,优质因子大于40,可满足微波调谐需要.还讨论了介电损耗减小的机理.
钛酸锶钡薄膜 钇元素 掺杂浓度梯度 介电特性
廖家轩 张宝 王滨 徐从玉 魏雄邦
电子科技大学,四川成都610054
国内会议
南京
中文
93-95
2012-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）