ZnO:Al透明导电薄膜微观结构及电学性能研究

摘要：

采用溶胶凝胶法制备ZnO:Al薄膜,研究掺杂浓度、热处理温度对薄膜的结晶性能、微观形貌以及电学性能的影响.用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对其物相、结构和形貌进行分析,霍尔效应测量系统测试薄膜的电阻率.分析表明:在溶胶浓度为0.6 mol/L,Al掺杂浓度为1.0％,前期热处理温度与后期热处理温度在400～450℃区域内,ZnO薄膜表面致密,晶体颗粒均匀,(002)晶面取向性好,且其表面电阻率最低,为47.17Ω·cm.

关键词： 氧化锌 铝薄膜 制备工艺 微观结构 电学性能

作者: 吕玉婷 丁新更 陈良辅 杨辉

作者单位: 浙江大学 材料科学与工程学系,浙江 杭州 310027 浙江大学 材料科学与工程学系,浙江 杭州 310027;浙江大学 硅材料重点实验室,浙江 杭州 310027;浙江大学 加州纳米技术研究院,浙江 杭州 310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国高技术陶瓷学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 142-145

在线出版日期: 2012-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）