YAG透明陶瓷抗等离子体侵蚀性能的研究
以商业Al2O3粉和商业Y2O3粉为原料,采用真空固相反应烧结法成功制备出了高质量的YAG透明陶瓷.对不同温度烧结的YAG透明陶瓷的显微结构和抗等离子体侵蚀性能进行了研究.结果表明:在实验温度范围内,YAG陶瓷晶粒尺寸随着烧结温度的升高逐渐增大,陶瓷光学质量逐渐提高;YAG透明陶瓷的抗等离子体侵蚀性能随着烧结温度的升高逐渐增强:等离子体对YAG陶瓷的腐蚀主要以物理轰击溅射为主,YAG陶瓷的质量和晶粒尺寸对陶瓷的抗等离子体侵蚀能力有直接影响.
透明陶瓷 抗等离子体侵蚀性能 制备工艺 显微结构
覃显鹏 周国红 王士维 章健 杨燕
中国科学院上海硅酸盐研究所,上海 200050
国内会议
南京
中文
435-439
2012-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）