太阳能硅片清洗剂研究及其工艺优化
单晶硅片因其优异的电气和力学性能成为比较理想的太阳能电池材料。经过多道程序加工成的硅片表面吸附了各种杂质,而其表面的洁净程度直接影响着电池片的成品率和可靠性。因此开展对硅片的清洗工作就变得十分重要。本文通过两种不同的工艺对太阳能硅片进行清洗,利用SEM和XRD等对硅片的表面洁净程度和硅片的物相结构进行分析,结果表明硅片表面吸附的无机和有机污染物可以通过工艺优化有效去除,从而获得了表面规整、洁净的合格产品。
太阳能硅片清洗剂 工艺优化 物相结构 污染物去除效果
童学宝 王亮 缪建军
安徽未来表面技术有限公司,安徽合肥230061
国内会议
合肥
中文
33-36
2011-11-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）