退火温度对溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜性质的影响

摘要：

为了提高ZnO薄膜的光学性能,采用溶胶-凝胶(sol-gel)和简易浸渍提拉法在石英基片上制备ZNO薄膜,并在不同温度下进行退火处理。利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、光数发光(PL)及紫外可见分光光度计对薄膜的结构特征、表面影貌和光学性质进行表征和测试。结果表明:所制备的ZnO薄膜均为六方形纤锌矿结构,结晶程度随退火温度的升高逐渐提高,薄膜透光性能良好,当退火温度低于500℃时,ZnO薄膜在见光区的平均透过率在70％以上。

关键词： 氧化锌薄膜 溶胶-凝胶法 退火温度 晶体结构 光学性质

作者: 邓新科 靳映霞 王毓德 胡剑巧

作者单位: 云南大学物理科学技术学院材料系 云南 昆明 650091 云南大学工程技术研究院,云南 昆明 650091

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013海峡两岸功能材料科技与产业峰会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 59-61

在线出版日期: 2013-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）