退火温度对BZT薄膜介电性能的影响研究

摘要：

采用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba(Zr0.2Ti0.8)O3(BZT)薄膜。X射线衍射分析表明,该BZT薄膜为钙钛矿结构而无其它物相存在。光学显微镜分析结果表明,退火温度为900℃时,BZT薄膜表面光滑平整,无裂纹产生；同时其介电常数最大而损耗最低。

关键词： 锆钛酸钡薄膜 溶胶-凝胶法 退火温度 介电性能

作者: 邓小玲 郭冬娇 蔡苇 符春林

作者单位: 重庆科技学院冶金与材料工程学院,重庆 401331

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013海峡两岸功能材料科技与产业峰会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 115-116

在线出版日期: 2013-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）