磁控溅射技术制备的CrN基涂层研究进展

摘要：

CrN涂层具有延展性好、附着力好、低摩擦系数、耐腐蚀性、抗氧化性和热稳定性等优点,但其硬度较低.本文详细介绍了CrN和CrAlN涂层的结构与性能,综述和探讨了磁控溅射技术(以下简称MS技术)制备的CrN基涂层的发展现状,并提出了CrN基涂层的未来发展趋势。制备多层、(纳米)复合、功能梯度涂层及添加合金元素等方法是未来研究的重点,另外,将各种制备手段进行复合也是今后的发展趋势。

关键词： 无钛涂层 磁控溅射 结构机理 性能评价

作者: 张豪 费晓燕 许向敏 多树旺

作者单位: 江西科技师范大学 江西省材料表面工程重点实验室,南昌 330013

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012全国金相与显微分析学术研讨会

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 46-52

在线出版日期: 2012-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）