用法-珀干涉仪测量偏振干涉仪的非线性

摘要：

该文介绍了用于大范围纳米测量的差拍法－珀干涉仪的原理及其特性，包括分辨率、测量范围、非线性误差以及总的测量不确定度。利用该干涉仪与一用于纳米测量的偏振干涉进行了纳米比对实验，实验结果表明，两干涉仪的测量结果有很好的一致性。由于偏振干涉仪有较大的非线性误差，而法－珀干涉仪的非线性误差较小，因此通过比对实验，也得到了偏振干涉仪的非线性误差。

关键词： 法-珀干涉仪 纳米比对 非线性误差

作者: 许婕 徐毅 戴高良 殷纯永

作者单位: 计量研究院(北京) 大学精仪系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国计量测试学术大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 399～403

在线出版日期: 1998-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）