Sol-gel法制备PZT铁电薄膜的退火条件研究

摘要：

在Pt／Ti／SiO<,2>／Si衬底上，用Sol-gel方法制备PZT（40／60）铁电薄膜，选择不同的后期退火温度和时间，研究其对薄膜的微结构、铁电性能的影响，建立了合适的退火条件。对于厚度2200埃的PZT（40／60）铁电薄膜，剩余机化强度Pr＝19.698μc＼cm<”2>可转向极化强度ΔP=32.511μC/cm<”2>。

关键词： Sol-gel 铁电薄膜 快速退火 极化强度

作者: 仇萍荪 丁爱丽 何夕云 罗维根

作者单位: 科学院上海硅酸盐研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 517～519

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）