体硅,SOI和DSOI MOSFET的热分析

摘要：

本文简单介绍了DSOI技术,并提出了体硅,SOI及DSOI MOSFET的热阻模型.进而对体硅,SOI MOSFET器件,特别是DSOI MOSFET的热学特性进行数值计算,比较其计算结果并做出相应的分析.

关键词： SOI DSOI MOSFET 热阻模型 体硅器件

作者: 刘宏伟 梁新刚

作者单位: 清华大学工程力学系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国工程热物理学会传热传质学学术会议

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 64-68

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）