非对称高频晶闸管和缓冲层技术

摘要：

叙述了非对称晶闸管的提出和发展历史,简述了非对称晶闸管的基本原理,探讨了三氯氧磷等扩散制造缓冲层的方法,并说明缓冲层技术在现代功率半导体器件中的关键作用.

关键词： 高频晶闸管 工作原理 缓冲层技术 制造工艺

作者: 潘福泉 高瑞彬 关艳霞

作者单位: 锦州市圣合科技电子有限责任公司;沈阳工业大学信息科学与工程学院 锦州市圣合科技电子有限责任公司 沈阳工业大学信息科学与工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电技术节能学术年会

会议地点: 南昌

会议语种:中文

页码: 53-59

在线出版日期: 2013-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）