基于MEMS技术的微差压测量系统研制

摘要：

微差压测量系统是由多个应用MEMS技术制作的硅压阻式压力传感器模块组成的压力测量系统.该系统利用小量程差压传感器替代了价格昂贵的小量程绝压传感器,实现了同时对多点大静压下微小压力变化的精确测量.对该压力测量系统中使用的传感器在-20℃～60℃温度范围内的灵敏度温度漂移进行了补偿,使其灵敏度温度系数小于±0.005％FS/℃,在工作温度变化很大的情况下也能保证测量的精度,使系统具有更加广阔的工作空间.

关键词： 空气动力学实验 微差压测量系统 结构设计 测量精度 补偿机制

作者: 杨梅 于炜 张莹

作者单位: 中国空气动力研究与发展中心 四川 绵阳 621000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国空气动力学会测控专业委员会六届四次空气动力测控技术交流会

会议地点: 襄阳

会议语种:中文

页码: 1-6

在线出版日期: 2013-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）