单晶硅动态压力传感器的研究

摘要：

超压冲击波测量对动态压力传感器提出了更高的要求,本文采用MEMS技术对单晶硅动态压力传感器进行了研究,对高频动态压力传感器的总体设计,保障芯片性能的工艺设计及高频动态压力传感器封装结构设计做了详细的阐述.

关键词： 单晶硅动态压力传感器 结构设计 性能指标 微机电系统

作者: 周峰 孙晋玲 郭鹏

作者单位: 昆山双桥传感器测控技术有限公司,昆山 215325

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国空气动力学会测控专业委员会六届四次空气动力测控技术交流会

会议地点: 襄阳

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2013-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）