薄膜表面的污损对椭偏仪实验的影响

摘要：

本文应用椭偏仪对SiO2标准薄膜的厚度和折射率进行测量,研究了油污、划痕、摩擦这三种因素对薄膜厚度和折射率测量的影响,分析了薄膜表面的污损情况对测量的影响机制,并探讨了避免此类误差的方法.

关键词： 薄膜 表面污损 光学性质 椭偏仪实验

作者: 李思蒙 刘牧青 郑康成 杜艾 张志华 方恺

作者单位: 同济大学物理科学与工程学院,上海200092 同济大学土木工程学院,上海200092

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013年全国高等学校物理基础课程教育学术研讨会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 264-266

在线出版日期: 2013-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）