用发射光谱法测量ECR等离子体的特性

关键词： 发射光谱法 ECR等离子体

作者: 李淑凤 刘延伟 吴桂林 邓新禄 张家良 陆文其

作者单位: 理工大学物理系 大连 116024 大连理工大学三束材料表面改性国

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国基础光学和第二届全国光物理学术报告会

会议地点: 贵阳

会议语种:中文

页码: 71～71

在线出版日期: 1998-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）