LED外延片激光扫描荧光光谱检测仪

摘要：

该文介绍了一种智能化激光扫描荧光光谱检测仪，可对光致荧光样品进行扫描分析，从而获得需要的整体信息，介绍了仪器对LED外延片进行在线无损检测的应用。该仪器可迅速对LED外延片进行在线检测，给出相关参数。实现智能化检测。

关键词： 发光装置外延片 激光扫描 激光荧光光谱 光谱检测仪

作者: 董占民 苏哲 凌勇 韩立 陈皓明

作者单位: 清华大学现代应用物理系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国LED产业研讨与学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 62～64

在线出版日期: 2000-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）