一台5kW/2450MHz微波等离子体系统的研制

摘要：

该文介绍了最近为用户研制的一台MPS-2050C，5kW/2450MHz微波等离子体CVD实验加工系统，它包括一台5kW高稳定计算机程控微波源，带智能销钉调配器的高性能微波传输系统，下注式（Downstream）微波反应腔，带多功能端口等离子体放电腔，以及四路气体MFC和相应的真空系统，该系统主要用于中等压强条件下高质量金刚石薄膜等多种材料的化学气相沉积（CVD），表面清洗和改性等多种用途，经初步试用系统性能良好。

关键词： 5kW/2450MHz 微波等离子体系统 计算机程控微波源 微波传输系统

作者: 季天仁 刘华 鄢阳 黎晓云

作者单位: 电子科技大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 182-185

在线出版日期: 1999-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）