微波诱导气体放电光源的发射光谱诊断

摘要：

本文介绍了等离子体光谱诊断的实验构架和实验方法,用NaI Boltzmann Plot方法确定NaI等离子体的温度轮廓,并用Bartels方法确定了InI等离子体的温度卢阀.研究发现,微波诱导NaI等离子体的温度轮廓为典型的管壁稳定型,泡壳附近的温度梯度非常大;而利用Bartels方法确定的96W微波功率下InI等离子体中心温度为4450K.并指出本文介绍的光谱诊断技术具备普遍适用性。

关键词： 气体放电光源 等离子体 微波诱导 发射光谱诊断技术

作者: 龙奇 陈育明 刘洋

作者单位: 复旦大学电光源研究所,上海200433

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013上海照明科技及应用趋势论坛

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 177-185

在线出版日期: 2013-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）