應用於提高光輸出之藍實石基板圖案化技術
本文介绍了半导体界常用的一种移除材料的手段-蚀刻技术，并介绍了电浆蚀刻机制的三种反应机制。同时，经研究得知，利用图案化蓝宝石基板制作发光二极体元件能有效提升内部量子效率与光萃取，但提升效果必定有限，并且发光二极体是属于自发性发光元件，所以各方向均有光射出。因此，通过进一步研究，提出光子回收模板可经由光回收模板将左右方及下方的光回收，利用Ag的高反射率让各界导向之散射及反射光能有效的回收与应用，以提升表面发光强度。
发光二极管 蓝宝石基板 图案化技术 发光强度
陳隆建 吳家任 蔡文芳
台北科技大學光電工程系
国内会议
长沙
中文
340-353
2012-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）