PS小球模板法制备小尺寸硅纳米线阵列

摘要：

利用PS小球在液面的自组装特性,制备出了单层、密排的PS小球模板.通过反应离子刻蚀将小球减薄至合适的尺寸,并利用银催化腐蚀方法制备出了形态分立、线径均匀的硅纳米线阵列.

关键词： 硅纳米线阵列 制备工艺 聚苯乙烯球模板法 腐蚀机理 微观结构

作者: 苏诗茗 林琳涵 李正操 冯嘉猷 张政军

作者单位: 清华大学材料科学与工程系,北京100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年中国腐蚀与防护学会能源工程专业委员会学术交流会暨2012年能源材料学术交流会议

会议地点: 黄山

会议语种:中文

页码: 39-42,67

在线出版日期: 2012-07-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）