电容式微机械加速度计的设计
电容式微机械加速度计易于实现低成本的加速度测量,是目前微机械加速度计设计的主流.提出了一种结构形式的电容式微机械加速度计,结构包括基片、质量块、弹性支撑、驱动电极、检测电极、齿枢和止挡.结构为轴对称图形,质量块处于结构的四周,呈“回”字型,质量块中间是弹性支撑和驱动电极、检测电极.质量块外围是止挡,它可以防止在较强的冲击下弹性支撑结构的断裂.结构中的“回”字型质量块设计使元件能够在有限体积下实现较大的质量块,使加速度高效转化为惯性力.驱动电极、检测电极以梳齿结构实现差动的静电驱动和电容检测.利用MATLAB软件对敏感结构参数、性能参数进行了计算、分析,用ANSYS仿真软件对敏感结构进行了静态分析和模态分析,从理论上验证了所提出的电容式微机械加速度计整体结构的可行性.
微机电系统 电容式微机械加速度计 结构设计 有限元分析
任杰 樊尚春
北京航空航天大学仪器学院,北京100083
国内会议
北京
中文
98-102
2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）