2GHz微机械压控振荡器的研制

摘要：

报道了一种中心频率为2GHz的电感电容(LC)压控振荡器,其谐振回路由微机械可变电容和键合线电感构成，微机械可变电容采用与集成电路兼容的表面微机械工艺制造,在2GHz时其Q值约为32.6,当调节电压从0V增大到12V时,电容量变化范围为25％.通过键合技术将微机械可变电容与有源电路集成在一起,制备了MEMS VCO器件,测试结果表明,载波频率为2.004GHz时,VCO的单边带相位噪声为-103.5dBc/Hz@100kHz,输出功率为12.51 dBm,调频范围约为4.8％。

关键词： 微电子机械系统 压控振荡器 可变电容 2GHz频率

作者: 李丽 张志国 杨瑞霞 赵正平

作者单位: 河北工业大学信息工程学院,天津,300130;中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051 河北工业大学信息工程学院,天津,300130

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006航空宇航科学与技术全国博士生学术论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 368-372

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）