Low-E玻璃生产线真空系统维护

摘要：

　　高真空是玻璃镀膜的基础，本文通过对Low-E玻璃生产线影响真空环境的各项因素进行分析，给出维护保养计划，从而达到使磁控溅射工艺处于一个稳定的工艺环境和设备放气维修后较快达到所要求的本底真空度的目的。

关键词： 玻璃工业 Low-E玻璃 真空系统 维护技术

作者: 白留森

作者单位: 洛阳新晶润工程玻璃有限公司,河南洛阳471003

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013全国玻璃科学技术年会

会议地点: 洛阳

会议语种:中文

页码: 108-110

在线出版日期: 2013-05-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）