射频功率对透光P型非晶硅薄膜性能的影响

摘要：

　　在普通玻璃上采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备氢化p型非晶硅薄膜,研究了不同射频功率对氢化p型非晶硅薄膜性能的影响.利用NKD-7000W光学薄膜分析系统测试薄膜的透射谱,并利用台阶仪测试出薄膜的厚度.结果表明,p型非晶硅薄膜的透过率与射频功率密切相关,p型薄膜的电导率呈现出先增大后减小规律,在射频功率达到150W时,薄膜的电导率达到4.46×10-3S/cm.

关键词： 太阳能光伏电池材料 非晶硅薄膜 射频功率 性能表征

作者: 张原斌 赵青南 董玉红

作者单位: 武汉理工大学硅酸盐建筑材料国家重点实验室,湖北武汉430070 武汉理工大学硅酸盐建筑材料国家重点实验室,湖北武汉430070;江苏秀强玻璃工艺股份有限公司,江苏宿迁223800 江苏秀强玻璃工艺股份有限公司,江苏宿迁223800

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013全国玻璃科学技术年会

会议地点: 洛阳

会议语种:中文

页码: 269-272

在线出版日期: 2013-05-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）