干法和湿法图形化蓝宝石衬底在GaN基LED上的应用

摘要：

　　通过干法刻蚀和湿法腐蚀制备出两种图形化蓝宝石衬底。从干法刻蚀和湿法腐蚀制备图形化蓝宝石衬底形成机理，制程以及芯片工艺的角度分析比较了两种图形化蓝宝石衬底对GaN基LED波长均匀性的影响。相较于干法图形化衬底而言，基于湿法图形化衬底生长的外延层及LED芯片具有较好的波长均一性。

关键词： 发光二极管 湿法刻蚀技术 蓝宝石 衬底结构

作者: 江忠永 李书文 张昊翔

作者单位: 杭州士兰明芯科技有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国长三角照明科技论坛(2012·杭州)

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 120-122

在线出版日期: 2012-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）