关键词： Si浅结探测器
作者: 陈武 王勇
作者单位: 大学微电子学研究所(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议
会议地点: 宜昌
会议语种:中文
页码: 276～278
在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）