硅基半导体集成技术的发展趋势

摘要：

　　本文结合半导体器件的发展现状及在光信号处理方面的进步，系统阐述了硅基光电子集成这一新型半导体集成技术的形成、特点、以及今后的发展趋势。

关键词： 硅基半导体 光信号处理 集成技术

作者: 周治平

作者单位: 北京大学信息科学技术学院,北京100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011’全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 27-28

在线出版日期: 2011-08-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）