应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现

摘要：

　　本文研究了一种小型恒温系统的实现方法，以较小的功耗和体积，使MEMS加速度计的工作区域温度保持恒定，从而屏蔽环境温度变化对仪器工作的影响。

关键词： 微机电加速度计 恒温系统 设计理念 环境温度

作者: 李建飞 薛兵 张俊峰 朱小毅 王晓蕾

作者单位: 中国地震局地震预测研究所,北京100036 北京港震机电技术有限公司,北京102628

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国地震学会第14次学术大会

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 175

在线出版日期: 2012-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）