三分量石英晶体谐振式压力传感器研制
本文利用石英晶体谐振器的共振频率随被测物理量变化而变化的特点,采用两种方案:一种是膜片与壳体为同一材料加工而成;第二种方案是壳体用刚性强的材料加工而成,膜片采用弹性好的材料。研制了石英晶体谐振式压力传感器,通过用标准压力仪对传感器的每一分量进行标定,确定了其压力与传感器输出频率的线性关系。
地震观测 谐振式压力传感器 石英晶体 制备工艺 弹性膜片 压力分量
崔笃信 王庆良 陶茂盛
中国地震局第二监测中心,西安710054
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乌鲁木齐
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2012-06-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)