关键词： Si衬底 SiC
作者: 王引书 李晋闽
作者单位: 科学院半导体研究所材料科学中心
会议类型: 国内会议
会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 成都
会议语种:中文
页码: 72～72
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）