四波长DFB激光器阵列合波输出集成芯片

摘要：

　　采用对接耦合外延、变脊宽加全息曝光技术,设计制作了四波长分布反馈激光器阵列与多模干涉耦合器(MMI)合波输出集成芯片。阵列器件的出射波长处于1550nm波段,阈值电流小于35mA,边模抑制比大于33dB,出光功率大于1.4mW。这是作者研制光子集成电路(PIC)芯片的初步尝试。

关键词： DFB激光器阵列 多模干涉耦合器 集成芯片 合波输出

作者: Hongliang Zhu 朱洪亮 Li Ma 马丽 Song Liang 梁松 Can Zhang 张灿 Baojun Wang 王宝军 Lingjuan Zhao 赵玲娟

作者单位: Key Laboratory of Semiconductor Materials Science, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of S 半导体材料科学重点实验室 中国科学院半导体研究所,北京 100083 Key Laboratory of Semiconductor Materials Science, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of S 半导体材料科学重点实验室 中国科学院半导体研究所,北京 100083;清华大学 电子工程系,北京 100084 Key Laboratory of Semiconductor Materials Science, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of S

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 开封

会议语种:中文

页码: 204-206

在线出版日期: 2012-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）