BaO-Nd2Oa-Sm2O3-TiO2薄膜的微波特性

摘要：

　　利用磁控溅射法在制作完底电极的LaAlO3(100)衬底上制备了一层BaO-Nd203-Sm203-Ti02系(简称BNST)薄膜,再对薄膜进行退火处理。X射线衍射仪(XRD)分析表明：经过退火处理的BNST薄膜具有良好的结晶效果。采用薄膜电容结构来实现电容的测量,主要研究了BNST薄膜电容的频率特性。LCR和矢量网络分析测试表明：在测试频率为1MHz时,介电系数为58.3.介电损耗tan6小于2％：在1GHz的测试频率下,介电系数为57.5,介电损耗tanδ小于3％。表明制备的BNST薄膜的频率特性稳定,基本满足微波频率下薄膜电容器的使用要求。

关键词： 薄膜电容器 微波介质陶瓷 射频磁控溅射 微波特性

作者: ZHANG Hong-bo 张洪波 WANG Wen-jun 王文君 QIN Chao 秦超 ZHANG Qiao-zhen 张巧真 ZHANG Ji-hua 张继华

作者单位: State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Scien 电子科技大学薄膜与集成器件国家重点实验室 成都 610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 开封

会议语种:中文

页码: 338-341

在线出版日期: 2012-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）