氧化锌微米线紫外光响应器件性能研究

摘要：

　　利用石英衬底,通过射频磁控溅射技术在其表面制备银电极,构造Ag/ZnO微米线/Ag肖特基型MSM结构紫外光电探测器。在325 nm紫外光照射下对该器件的光电响应性能进行了测试,该器件具有105高光电流增益,这一高光电流增益归因于该器件独特的肖特基接触结构和微米线六重对称产生的回音壁模增强效应。该器件光电流增益对紫外光强度遵循幂率关系G(∝)P0.69,结果说明该肖特基紫外光响应器件的高光电流增益内在机制源于空穴捕获产生的载流子空间分离效应。结果表明MSM结构氧化锌微米线紫外探测器具有良好的紫外响应能力。

关键词： 紫外光响应器件 氧化锌半导体 微米线 性能评价

作者: Jun Dai 戴俊 Lei Qin 秦磊 Chunxiang Xu 徐春祥

作者单位: Department of Physics, Jiangsu University of Science and Technology, Zhenjiang, 212003;State key lab 江苏科技大学数理学院,镇江 212000;东南大学生物电子学国家重点实验室,南京 2100196 Department of Physics, Jiangsu University of Science and Technology, Zhenjiang, 212003 江苏科技大学数理学院,镇江 212000 State key laboratory of bioelectronics, Southeast University, Nanjing, 210096 东南大学生物电子学国家重点实验室,南京 2100196

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 开封

会议语种:中文

页码: 378-381

在线出版日期: 2012-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）