Al/ZnO:Al薄膜结构的荧光增强效应的研究

摘要：

　　利用物理气相沉积设备制备了Al/ZnO∶Al薄膜结构，研究了该结构的发光特性。结果表明，在ZnO：Al薄膜表面镀一层Al岛薄膜可以增强其带边荧光，同时在475 nm附近产生蓝光峰。通过在Al岛薄膜和ZnO∶Al薄膜之间引入一层5nm的Ta205绝缘层可以使ZnO∶Al薄膜的带边荧光和蓝光显著增强，并随着Ta2.05绝缘层厚度的增大而减弱。而且，通过对Al/ZnO：Al样品进行退火处理可以使蓝光峰增强83倍。基于局域表面等离子体共振理论，计算了Al/ZnO∶Al纳米结构的光学散射和吸收截面曲线。计算结果较好地解释了实验观察到的荧光增强现象。

关键词： 半导体薄膜 金属氧化物 局域表面等离子体 荧光增强效应

作者: 徐天宁 卢忠 隋成华 吴惠桢

作者单位: 浙江工业大学之江学院理学系,杭州 310024;浙江大学物理系,现代光学仪器国家重点实验室,杭州 310027 浙江工业大学之江学院理学系,杭州 310024 浙江大学物理系,现代光学仪器国家重点实验室,杭州 310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 开封

会议语种:中文

页码: 387-390

在线出版日期: 2012-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）