光辅助MOCVD法制备高质量ZnO薄膜

摘要：

　　采用光辅助金属有机化合物气相沉积方法在c面蓝宝石衬底上制备ZnO薄膜。实验结果表明光辅助的引入对ZnO薄膜的特性具有很大的影响。SEM测试结果表明,光辅助的引入使得ZnO从三维的纳米柱形式转变成二维的致密薄膜形式。同时,XRD0-20结果也证实了光辅助对ZnO薄膜晶体质量的改进,ZnO (002)衍射峰摇摆曲线的半高宽从1656弧秒降为284弧秒。此外,PL测试结果表明光辅助条件下制备的ZnO具有更高的发光质量。认为,光辅助的引入在一定程度上改善了ZnO在最初阶段的成核机制。更高的成核密度最终导致了致密、连续ZnO单晶薄膜的形成。

关键词： 氧化锌半导体 薄膜制备 金属有机化学气相沉积 光辅助技术 成核密度

作者: Zhifeng Shi 史志锋 伍斌 Bin Wu Jinxiang Zhang 张金香 Xupu Cai 蔡旭浦 Hui Wang 王辉 Xin Dong 董鑫 Yuantao Zhang 张源涛 张宝林 Baolin Zhang Guotong Du 杜国同

作者单位: State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics, College of Electronic Science and Engineering, J 集成光电子学国家重点实验室,吉林大学电子科学与工程学院,长春 130012 State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics, College of Electronic Science and Engineering, J 集成光电子学国家重点实验室,吉林大学电子科学与工程学院,长春 130012;大连理工大学物理与光电工程学院,大连 116023

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 开封

会议语种:中文

页码: 398-401

在线出版日期: 2012-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）