ZnO@PVP/Si-NPA纳米复合薄膜的制备及其湿敏性质研究

摘要：

　　本文采用溶胶凝胶法制备聚乙烯吡咯烷酮(PVP)修饰的氧化锌量子点，通过控制PVP的量得到不同粒度的氧化锌量子点，并通过旋涂法将氧化锌溶胶旋涂到硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)上，得到ZnO﹫PvP/Si-NPA纳米复合薄膜湿敏传感器。当环境相对湿度从11％上升到95％时，采用不同信号频率进行测试，湿敏元件的电容增加值分别为起始值的几十倍到几千倍不等，显示出湿敏元件较高的湿度灵敏性和较强的绝对电容输出信号强度。在升湿的过程中，其响应时间都在lOs左右，展示出较快的响应速度。

关键词： 氧化锌量子点 纳米复合薄膜 制备工艺 湿敏性质

作者: Kun Li 李坤 Xinjian Li 李新建 Wenchuang Wang 王文闯 Lingli Wang 王伶俐

作者单位: School of Physical Science & Engineering and Key Laboratory of Materials Physics of Ministry of Educ 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,郑州 450052

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 开封

会议语种:中文

页码: 415-415

在线出版日期: 2012-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）