缺陷和原子扩散导致的量子级联激光器的失效

摘要：

　　研究了失效的量子级联激光器前腔面的情况，首先，通过扫描电镜(SEM)很明显的可以看到前腔面不再平整，取而代之的是有很多的裂纹和缺陷凹凸不平。其次用X射线能谱仪(EDS)进行了分析，可以得到量子级联激光器损坏的原因，即有源区损坏严重，原子的扩散，使得组分严重偏离最初的设计，不再满足出光的条件。理论和实验的结果符合的很好。

关键词： 量子级联激光器 化合物半导体 失效分析 晶格缺陷 原子扩散

作者: Yongzheng Hu 胡永正 Quande Zhang 张全德

作者单位: Key Laboratory of Semiconductor Materials Science, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of S 中国科学院半导体研究所材料重点实验室,北京912信箱 100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 开封

会议语种:中文

页码: 571-573

在线出版日期: 2012-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）