基于LabVIEW的半导体器件检测系统设计

摘要：

　　为实现半导体器件检测过程自动化，减少人为误操作，提高测量的效率，以LabVIEW9.0为检测系统的开发平台，设计了半导体器件参数自动测试系统.首先介绍了该系统开发需要的软、硬件资源，详细介绍了软件设计流程及功能实现部分，该系统实现了对半导体器件的检测和对仪器的控制功能，并提供了数据存储、图形显示、错误报警等功能.实验结果表明，系统具有良好的人机对话界面，操作方便，且程序拓展性好，为其他同类型器件测量程序的开发缩短了周期.

关键词： 半导体器件 虚拟仪器 检测系统 结构设计

作者: Shi Bingcai 时丙才

作者单位: China Air-borne Missile Academy,Luoyang 471001 中国空空导弹研究院 洛阳 471001

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年三网融合技术国际研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 94-96,115

在线出版日期: 2012-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）