硅微谐振式压力传感器测试方法研究

摘要：

　　为了解决硅微谐振式传感器输出信号测试设计周期长，费用高；测试过程时间长，误差大的问题引入了了组合是敏感方法和压阻变换的原理。作为测试压力传感器的重要方法，本文介绍了上述方法的相关验证实验，最后针对实验结果做了简要分析。

关键词： 硅微谐振式压力传感器 误差分析 信噪比 功能验证

作者: XING Weiwei 邢维巍 JIANG Huijie 江慧婕 FAN Shangchun 樊尚春

作者单位: School of Instrument Science and Opto-electronics Engineering,Beihang University,Beijing 100191,Chin 北京航空航天太空精密光机电一体化教育部重点实验室,北京100191;北京航空航天大学惯性技术国防科技重点实验室北京100191

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年全国压力计量测试技术交流年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 30-32

在线出版日期: 2012-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）