硅微谐振式压力传感器中的单端口静电激励-电容检测方法研究

摘要：

　　采用静电激励-电容检测方式的硅微谐振式压力传感器具有温度稳定性好、灵敏度高、功耗低等优点，但同频耦合干扰是限制电容检测精度的主要因素。采用频域分离法可有效地克服同频耦合干扰带来的影响。在研究基于频域分离法的单端口静电激励/电容检测的基础上，提出了单端口静电激励/电容检测方案。

关键词： 硅微谐振式压力传感器 单端口静电激励-电容检测方法 激励方式 精度控制

作者: XING Weiwei 邢维巍 PENG Zhenjiang 彭振江 FAN Shangchun 樊尚春

作者单位: School of Instrumentation Science & Optoelectronics Engineering,Beihang University,Beijing 100191,Ch 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京100191

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年全国压力计量测试技术交流年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 35-38

在线出版日期: 2012-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）