基于昆虫振动感受器的谐振式硅微机械压力传感器结构设计

摘要：

　　针对谐振式硅微机械压力传感器输出信号十分微弱、检测难度大的问题，从结构设计的角度分析了相应的解决方法。将对昆虫孔缝结构振动感受器的研究与谐振式微机械压力传感器的设计相结合，提出在谐振敏感结构中引入孔缝结构，通过孔缝应力集中效应提高检测信号的强度，实现传感器检测性能的提高。

关键词： 谐振式硅微机械压力传感器 结构设计 信号检测 性能优化

作者: SHI Huichao 史慧超 FAN Shangchun 樊尚春

作者单位: School of Instrumem Science and Opto-electronics Engineering,Beihang University,Beijing 100191,China 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京100191

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年全国压力计量测试技术交流年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 97-99

在线出版日期: 2012-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）