基于全流程优化的亚表面缺陷控制技术研究
本文讨论基于传统光学加工获得最优的残余亚表面缺陷的技术流程,提高了光学加工质量和效率,结合后续的MRF加工,最终获得光学元件的亚表面缺陷数量下降了数个数量级。
光学元件 亚表面缺陷 控制技术 全流程优化
杨李茗 欧光亮
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
国内会议
北京
中文
162-163
2012-06-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
光学元件 亚表面缺陷 控制技术 全流程优化
杨李茗 欧光亮
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
国内会议
北京
中文
162-163
2012-06-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)